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Wafer Foundry

Hohe Kapazität – Große Flexibilität – Höchste Qualität

Die Wafer Foundry von SAW COMPONENTS bietet Ihnen state-of-the-art Technologien kombiniert mit 25 Jahren Erfahrung und eine komplette Fertigung made in Germany. Wir unterstützen Sie von den ersten Entwicklungsmustern bis zur Massenfertigung. Dabei legen wir höchsten Wert auf Qualität, Geschwindigkeit und Flexibilität.

Wafer

  • Wafergrößen: 4" und 6" (8“ in Vorbereitung)
  • Fertigung auf allen gängigen SAW- oder Halbleitersubstraten
    • Quarz
    • LiNbO3
    • LiTaO3
    • Bonded / POI Wafer
    • Glas / fused silica
    • Langasit
    • Silizium
    • und anderen
  • Einseitig und beidseitig poliert

Lithographie

  • Prozessierung der Strukturgrößen bis 300nm
  • hoher Genauigkeit und Ausbeute
  • Lift-Off-, Nassätz- oder Trockenätzprozess
  • I-Line-Stepper, G-Line-Stepper

Dünnschichttechnologie

  • Dünnschichttechnologie mit einer Präzision von bis zu +/-10 nm mit Dicken von 50nm bis 1500nm mit allen Standard-Elektrodenmaterialien (Al, Cu, Au, Ni, Pt, Ir, Zr, Pd, Ti, Cr und weiteren) oder deren Kombination
  • High Power Schichten für den Einsatz im hohen Leistungsbereich
  • 1-Ebenen- oder Mehr-Ebenen-Prozess
    • Active Layer
    • Crossover Layer mit Brücken
    • Padverstärkung
    • Passivierung
    • Under Bumb Metallization
    • Rückseitenmetallisierung

Schnelle Bearbeitung Ihrer Daten

  • Erstellung von Masken mit Ihren Kundendaten
  • Digitalisierung und Bearbeitung Ihrer Maskendaten
  • Datencheck vor jedem Tape Out

Messung und Überwachung

Wir setzen zur Überwachung und Steuerung von Prozessen und kritischen Parametern verschiedene Messgeräte ein:

  • RFA zur Schichtdickenmessung
  • Tastschnitt-Messgerät zur Schichtdickenmessung an strukturierten Wafern
  • AFM zur Oberflächen- und Kantenbeurteilung
  • Optische Strukturbreitenmesstechnik (i-line) bis 0,3µm (CD)
  • Automatischer Waferprober mit NWA und HF-Probes
  • Widerstandsmessung
  • Ellipsometer zur Beurteilung halbtransparenter Schichten

Wir führen elektrische Wafertests nach vereinbarten Toleranzen und Mindestausbeuten durch (Stichproben oder 100%-Messung):

  • HF Messung
  • s-Parametermessung

Die Produktion befindet sich vollständig in Deutschland und das Unternehmen ist vollkommen eigenständig, wodurch wir Ansprechpartner für Kunden aus aller Welt sind. Wir legen höchsten Wert auf die Sicherheit und Vertraulichkeit der Kundendaten und arbeiten daher für Kunden in aus aller Welt.